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激光干预仪-精度标定


  接纳英国雷尼绍的激光干预仪和瑞典 ?怂箍档亩卧雀呔缺甓ㄒ堑魇怨ぞ。

  激光干预仪具有超高区分率,可达0.001μm。我们对各运动轴举行高精度标定,绝对定位精度小于±1μm。重复定位精度小于±0.5μm。配合先进的龙门双驱算法,为高精度大发welcome装工艺提供可靠包管。

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